MEMS快速響應氫氣傳感器

產品名稱：MEMS快速響應氫氣傳感器
產品型號：TCD-H2
產品廠商：Delta Tech
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簡單介紹

MEMS快速響應氫氣傳感器特點： 1、無需加熱恒溫 2、功耗低，約100mW 3、快速響應，約1秒 4、濕度補償 5、外形尺寸小

MEMS快速響應氫氣傳感器

的詳細介紹

MEMS快速響應氫氣傳感器

黛爾特（北京）科技有限公司的MEMS熱導式傳感器工作原理：熱導率傳感器通過測量氣體或液體的導熱能力來工作。當向材料施加熱量時，其散熱速率受到其導熱性的影響。在典型的熱導率傳感器中，兩個溫度傳感器（通常是熱電偶或電阻溫度傳感器）以已知距離放置。加熱器產生已知量的熱量，并測量兩個傳感器之間的溫差。然后，可以根據熱流和溫差計算導熱系數。熱導率氣體傳感器敏感芯片測量膜中心熱電堆熱結和芯片厚邊緣冷結之間的熱阻。這是通過使用電阻器加熱器Rheat加熱膜的中心來實現的。由此產生的中心溫度升高由熱電堆溫度傳感器測量。實際溫度升高取決于膜中心和環境之間的有效熱阻，這受到膜熱阻、環境氣體熱阻、任何存在的氣體流量和（通常可以忽略不計）發射輻射等因素的影響。

MEMS熱導率傳感器測量溫度有幾種類型，包括：

電阻溫度傳感器：這些傳感器利用材料的電阻變化來確定溫度。
熱電堆傳溫度感器：這些傳感器由多個串聯的熱電偶組成，提供更高的輸出電壓和靈敏度。

黛爾特（北京）科技有限公司的TCD-5880-P2RW氣體傳感器敏感元件為了測量時準確補償環境溫度變化，可以在熱導率傳感器芯片旁邊安放一個2x2 mm的PT100鉑電阻溫度傳感器。這允許根據溫度DIN B等級準確測量傳感器芯片的溫度。標準為100歐姆電阻器（0oC時為100歐姆，靈敏度為0.39%/oC），可選為0oC下為100歐姆的Pt100。所謂的"Roof硅蓋"是粘在薄膜熱點上的硅散熱器，在距離薄膜100μm處形成散熱器（見圖4.5）。“硅蓋”有兩個應用。首先，熱導率傳感器周圍的任何氣流都被硅蓋阻擋，無法到達熱膜，因此傳感器的對流量靈敏度大大降低。因此，在有流量的情況下進行測量時，硅蓋選項很有趣。其次，附近的散熱器將傳感器可以測量的上部真空壓力增加了大約3倍。因此，當將熱導率傳感器用作真空計傳感器時，硅蓋選項也可能引起人們的興趣。